2025-05-22 55
품 명 TDS 분석공정부 Process heating quartz stage P/N TDS-PcHQS-300
"제 품
모 델 명 TDS-PcHQS-300
적용설비 300mm wafer 대응설비
주요사양 > Chemical Composition: Sio2 > Density: 2.2g/cm3
> Purity: 99.99% Min > Deformation Point: 1120 ℃
> Softening Point: 1683 ℃
> Annealing Point: 1215 ℃
재 질 Fused Quartz
교체주기 물리적 손상, 표면오염/변색, 아웃가스 특성변화, 결정화 저하
공 급 사 ㈜아이브이티
용도 설명 사진참고
KR
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